覆层厚度的测量方法主要有：楔切法、光截法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线反向散射法、电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。

X射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有放射源，使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。用于测定材料本身厚度或材料表面覆盖层厚度的仪器。

智能高精度测厚仪有些构件在制造和检修时必须测量其厚度，以便了解材料的厚薄规格，各点均匀度和材料腐蚀、磨损程度；有时则要测定材料表面的覆盖层厚度，以保证产品质量和生产安全。根据测定原理的不同，常用测厚仪有超声、磁性、涡流、同位素等四种。

用于测定薄膜、薄片等材料的厚度，测量范围宽、测量精度高，具有数据输出、任意位置置零、公英制转换、自动断电等特点。用人工卡量方式测量板厚，存在着测量精度差，测量点少（每块钢板只测量一个点），测量速度慢等缺点。在恶劣的现场环境下，操作人员用此法测量时劳动强度大，危险性高，生产效率受到很大的影响。多年来，虽然实施过很多其它方法，如机械测量法，微量元素放射性测量法等，但都不十分理想，不是测量精度太低，就是对环境及人身造成危害，所以就都弃之不用。