为保证在大尺寸条件下的精度，本设备采取了多项技术措施。
本设备所有运动部件，均采用超精密加工；本设备所有电子器件，均采用世界顶级产品，本设备采用了大理石工作台，从而为设备的精度提供了基本保障。
为避免设备在使用时，测量块受到外力作用发生微量移动而引起的尺寸变化，采用反馈控制技术，自动消除外力干预，返回到原始位置。从而消除在外力作用下引起位移带来的精度误差。
为防止弹性变形误差，移动端的测量块和滑移端的测量块无需接触，以避免接触时，在外力的作用下发生弹性变形。系统会自动计算出两测量块的间隙并补偿。
本设备具有自动控制激光干涉仪记数的功能：因为设备投入使用前要用激光干涉仪进行多点多点校准（点越多，校准后的精度就越高），每个点校准时，系统发出指令，控制激光干涉仪与光栅尺在系统里同时计数。
自动生成线性修正系数：技术人员在设备校准时，可把总量程分成多点进行校正，整个分点校正过程，设备自动完成。校准完成后，可自动生成误差曲线，判断误差趋势，从而可确定每段量程的线性修正系数。
